甲硅烷 (SiH4)

甲硅烷在半导体, 显示器及太阳能电池制造工艺中用于形成硅绝缘膜, 硅防反射膜。

  • ISO CONTAINER
  • Y-CYLINDER
  • BUNDLE
  • INDIVIDUAL

SPECIFICATION

Unit : ppmv
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH4, O2+Ar, N2, H2, CO, CO2, CH4, H2O로 구성되어 있습니다.
SiH4 O2+Ar N2 H2 CO CO2 CH4 H2O
99.9999%
[Excluded H2]		 1.0 1.0 20.0 0.1 0.1 0.1 1.0
SPECIFICATION (표)입니다. 이 표는 SiH4, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
SiH4 99.9999%
[Excluded H2]
O2+Ar 1.0
N2 1.0
H2 20.0
CO 0.1
CO2 0.1
CH4 0.1
H20 0.1

CYLINDERS INFORMATION

CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 TYPE, MATERIAL, FILLING WEIGHT, VALVE CONNECTION TYPE으로 구성되어 있습니다.
TYPE MATERIAL FILLING WEIGHT VALVE CONNECTION TYPE
47L Mn Steel 10 / 12 kg CGA/DISS632, CGA350,
JIS-22-14L etc.
Bundle Customized CGA/DISS632, JIS-22-14L etc.
Y-CYLINDER Cr-Mo Steel 100 / 125 kg
ISO Container 20ft 2,200 kg CGA/DISS632 etc.
40ft 5,500 kg
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 47L, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
TYPE 47L
MATERIAL Mn Steel
FILLING WEIGHT 10 / 12 kg
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS632, CGA350, JIS-22-14L etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 Bundle, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
TYPE Bundle
MATERIAL Mn Steel
FILLING WEIGHT Customized
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS632, JIS-22-14L etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 Y-CYLINDER, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
TYPE Y-CYLINDER
MATERIAL Cr-Mo Steel
FILLING WEIGHT 100 / 125 kg
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS632, JIS-22-14L etc.
CYLINDERS INFORMATION (표)입니다. 이 표는 ISO Container, SPECIFICATIO로 구성되어 있습니다.
TYPE ISO Container
MATERIAL Cr-Mo Steel
FILLING WEIGHT 20ft 2,200 kg
40ft 5,500 kg
VALVE CONNECTION TYPE CGA/DISS632 etc.
사용용도 알아보기 - 웨이퍼, 기판 → 제품투입 (웨이퍼, 챔버, 히터) → 공정 진행 (공정가스) 자세히 보기 - 반도체 (Dielectric:SiH4), 디스플레이 (Passivation:SiH4) SiH4:Dielectric - 반도체, 디스플레이 및 태양전지 제조공정에서 사용되며, Si 절연막, Si 반사방지막 형성시 사용됩니다. → 제품반출 → 반도체 (웨이퍼), 디스플레이 (기판)